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电子气体可以简单地定义为电子(即半导体)工业在制造过程中使用的气体，它们通常是特殊气体，所以也被称为电子特气[1][2][3]。电子特气在刻蚀、掺杂和气相沉积等

石油是人类社会较为依赖的燃料能源之一，也是生活中无数化学品的重要来源之一。石油经过勘探、开采、运输、炼制等一系列步骤，最终成为燃料和化工原料。对石油加工